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사업분야

세계 최고 수준의 진공 기술 개발 (주)엠벡

진공 게이지(Vacuum Gauge)

진공 게이지의 정의

엠벡 개발 (예정) 진공 게이지의 경우 개발 진공 게이지의 경우 Pirani Type의 게이지로 기체압력에 의한 내부 Filament의 온도변화를 전기저항의 변화로 바꾸어 진공도를 측정한다.

기능 및 효과

일반적으로 저진공 ~ 중진공 영역대의 측정에서 주로 사용되며(일부 고진공) 대기압(760mmHg)에서 10-3mbar까지 진공도를 측정 하는데 사용된다. 압력이 높아져서 열 손실이 커지고 Filament의 온도저항이 낮아지면 전압을 높여 일정한 출력이 나오도록 조절한다. Pirani Type의 게이지의 경우 개발되어 상용되는 국내 제품은 없으며 수입제품만 사용된다. ㈜엠벡이 목표한 성능이 구현되어 개발될 경우 수입 대처 및 국산화에 따른 개발 기대효과가 기대된다.

적용 분야

진공 게이지 역시 진공펌프와 마찮가지로 진공펌프, 진공 설비를 사용하는 모든 사업 부분에 적용이 가능하다.
(고진공 및 초 고진공 영역을 제외한 모든 진공 사업 분야 적용 가능)