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사업분야

세계 최고 수준의 진공 기술 개발 (주)엠벡

리크 디텍터 (Leak Detector)

리크 디텍터의 정의

리크 디텍터는 진공의 기밀(氣密)누설을 검출하기 위한 장치로 공기보다 가벼운 헬륨이나 수소로 누설이 의심되는 부분에 분사하여 분사되는 기체가 검출되면 반응하도록 만든 측정 장비이다.

기능 및 효과

일반적인 기밀 누설장치에 비해 보다 정밀한 누설 여부를 측정할 수 있다. 헬륨으로 측정할 경우 10-8~10-12mbar까지 측정이 가능하며, 수소로 측정할 경우 10-7~10-8mbar까지 측정이 가능하다. 수소에 비해 정밀한 측정이 가능한 헬륨을 이용한 방식이 주로 사용된다. ㈜엠벡에서는 측정기인 디텍터와 구동을 위한 backing Pump, 누설이 의심되는 부위에 분사하기 위한 헬륨을 하나의 장치로 만들어 이동이 가능한 형태로 제작하고 있다.

적용 분야

헬륨 리크 디텍터를 이용한 누설 측정