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사업분야

세계 최고 수준의 진공 기술 개발 (주)엠벡

진공펌프 (Vacuum Pump)

진공펌프의 정의

진공펌프는 기밀이 유지된 일정한 Chamber에 진공(眞空)을 만들어 주기 위해 내부의 기체분자, 수분 등을 제거하기 위한 장비이다. 일반적으로 대기압(760mmHg) 이하의 저압의 기체를 흡입하고 압축하여 대기중으로 방출하여 Chamber내의 진공도를 높이는 장치다.

기능 및 종류

Oil Rotary Vacuum Pump

일반적인 진공펌프의 형태로 목적물의 진공을 형성하기 위하여 펌프 내부윤활과 기밀(氣密)을 위한 진공용 오일이 사용되는 펌프이다.

Dry Vacuum Pump

진공 오일이 불필요한 펌프로 이에 따른 환경적, 경제적 이점을 가진 펌프이다. 진공도의 변화가 적고, 내구성이 우수하여 운용에 효율성이 높다는 장점이 있다.

Roots Pump

Booster Pump의 형태로 구동 진공펌프를 가속하는 역할을 한다. 실린더 안에서 회전되는 로터가 반대로 회전하며 흡입쪽으로 기체를 유입하여 배기구로 배출하는 형태로 루츠펌프 단독으로는 구동되지 못하고 오일로타리, 드라이 펌프 등과 연결되어 사용된다.

적용분야

진공펌프는 진공 설비의 기본적인 장비로 모든 진공 사업 부분에 적용 가능하다.